2025-09-09 07:21:01 6次浏览
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载板电镀是先进封装载板(如 IC 载板、扇出型封装载板等)制造中的核心工艺,其质量直接决定载板的电气性能、可靠性及封装良率。由于载板需实现高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)及承载芯片的高可靠性要求,其电镀工艺及质量检测标准远高于传统 PCB,核心围绕 “镀层均匀性、致密度、附着力、纯度” 四大维度展开
镀层微观质量:避免内部缺陷影响可靠性
载板镀层的致密度、纯度直接影响电气性能(如电阻、迁移风险)和耐腐蚀性。
孔隙率:
标准:铜镀层孔隙率≤1 个 /cm²(用酸性硫酸铜溶液测试,孔隙会析出铜粉);镍层孔隙率≤0.5 个 /cm²;
检测工具:孔隙率测试仪、SEM(观察微观孔洞)。
晶粒结构:
标准:铜镀层晶粒均匀,平均晶粒尺寸 50-200nm(晶粒过粗易导致镀层脆化,过细易产生应力);
检测工具:透射电镜(TEM)、X 射线衍射仪(XRD)。
杂质含量:
标准:高纯度铜镀层(99.99% 以上),杂质(如 Fe、Zn、Pb)总含量≤50ppm;镍镀层杂质总含量≤100ppm;
检测工具:电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)。
载板电镀检测需严格遵循标准,确保一致性和可靠性,常用标准包括:
IPC 标准:
IPC-6012DS:《刚性印制板的鉴定与性能规范(载板专用补充版)》,明确载板镀层厚度、附着力要求;
IPC-TM-650:《印制板测试方法手册》,包含镀层厚度、附着力、孔隙率等测试方法。
JEDEC 标准:
JEDEC JESD22-A108:《集成电路封装的电迁移测试》;
JEDEC JESD22-B103:《高温存储测试》,用于评估镀层长期耐热性。
企业定制标准:
主流封装厂(如台积电、长电科技)会在上述标准基础上提出更严格要求(如凸点高度偏差≤±5%),需根据具体订单调整检测阈值。
生产效率
水平线生产速度1.5-6.0m/min,具体根据基材厚度,小孔径,盲孔,纵横比等参数调整,整个流程时间在4-10min;
导通能力
No ICD,IST测试(百万通孔测试) CAF测试(小间距CAF改善)