2025-09-09 09:06:01 17次浏览
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载板电镀是先进封装载板(如 IC 载板、扇出型封装载板等)制造中的核心工艺,其质量直接决定载板的电气性能、可靠性及封装良率。由于载板需实现高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)及承载芯片的高可靠性要求,其电镀工艺及质量检测标准远高于传统 PCB,核心围绕 “镀层均匀性、致密度、附着力、纯度” 四大维度展开
镀层几何参数:控制是基础
载板的超细线路 / 凸点对几何尺寸要求极高,偏差会直接导致封装失效(如键合不良、短路)。
检测项目 核心标准要求 检测工具
镀层厚度 - 图形铜:厚度偏差≤±10%(如设计 10μm,实际需在 9-11μm);
- 镍层:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金层:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射线荧光测厚仪(XRF)、金相显微镜
凸点尺寸(Bump) - 直径偏差≤±5%(如设计 50μm,实际 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一载板凸点高度差≤5μm 激光共聚焦显微镜、3D 轮廓仪
线路 / 焊盘精度 - 线宽偏差≤±10%(如设计 15μm,实际 13.5-16.5μm);
- 焊盘直径偏差≤±5%;
- 线路边缘粗糙度(Ra)≤1μm
载板电镀检测需严格遵循标准,确保一致性和可靠性,常用标准包括:
IPC 标准:
IPC-6012DS:《刚性印制板的鉴定与性能规范(载板专用补充版)》,明确载板镀层厚度、附着力要求;
IPC-TM-650:《印制板测试方法手册》,包含镀层厚度、附着力、孔隙率等测试方法。
JEDEC 标准:
JEDEC JESD22-A108:《集成电路封装的电迁移测试》;
JEDEC JESD22-B103:《高温存储测试》,用于评估镀层长期耐热性。
企业定制标准:
主流封装厂(如台积电、长电科技)会在上述标准基础上提出更严格要求(如凸点高度偏差≤±5%),需根据具体订单调整检测阈值。
应用产品类型
各种材料:常规及改良聚酰亚胺,液晶材料,聚四氟乙烯,聚酯树脂,陶瓷基板等;
硬板,软板,软硬结合板,HDI, IC载板等;
尤其适合高纵横比通盲孔多层,软板多层,软硬结合板,IC载板,超细微孔/盲孔10-30微米通孔/盲孔